En microlithographie, les masques binaires désignent les masques photographiques « conventionnels », lorsqu`on les oppose aux masques à décalage de phase. Trouvé sur https://fr.wikipedia.org/wiki/Masque_binaire
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En microlithographie, les masques binaires désignent les masques photographiques « conventionnels », lorsqu`on les oppose aux masques à décalage de phase.