formation de couches minces par éjection d'atomes d'un matériau cible lors d'un bombardement par des ions de gaz rares accélérés sous haute tension
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http://www.cea.fr/lexique
La pulvérisation cathodique (ou sputtering) est un phénomène dans lequel des particules sont arrachées à une cathode dans une atmosphère raréfiée. Elle est une des causes du vieillissement des anciens tubes électroniques, mais est également mise à profit comme méthode de dépôt de co...
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https://fr.wikipedia.org/wiki/Pulvérisation_cathodique
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